膜厚計 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2015.08.20

膜厚計

お客様ご自身が使用して、試作・分析を行える機器は 『利用の仕方』欄にご利用OKがつけてあります。

膜厚計、三次元、微細形状、段差、粗さ

 

 
項目 内容
機器名 膜厚計
利用の仕方  
使用料No  
分類 試験・計測機器
担当 電子技術部
仕様 サンプルサイズ:210×210×50mmtX軸(測定長):100mmスケール分解能:0.01μmY2軸(連続測定長):10mmステップ量:0.1μmZ軸(上下動)52mm検出器:最大範囲 100μm測定力 0.5μN?500μN分解能 0.1nm(±3.2μmレンジ)
用途 薄膜の厚さ測定。表面粗さ測定(3次元)
手数料No
/試験名
1051/三次元微細形状測定
製造社名 (株)小坂研究所
規格 ET4000AKR
導入年度 平成18年度

  • 「使用料」とはご利用OKのついた機器をご使用いただいたときの料金です。ご利用OKのある機器でも、使用条件によって料金が変わる場合は空欄となっています。そのような機器の使用料は、お問い合わせ下さい。
  • 「手数料」とは当センター職員がお客様のご依頼を受けて試験等を実施する場合の料金です。この他にオーダーメードでもお受けできます。
  • 「試験名」とは当機器を利用して行う試験等の名称で、クリックすると詳細説明がご覧になれます。




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