表面現象解析装置超微粒子試料作成装置(ナノ粒子生成装置) | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2014.03.31

表面現象解析装置超微粒子試料作成装置(ナノ粒子生成装置)

お客様ご自身が使用して、試作・分析を行える機器は 『利用の仕方』欄にご利用OKがつけてあります。

ナノ粒子作製装置(ガス中蒸発法:高周波誘導加熱式)、GD(ガスデポジション)装置

 

 
項目 内容
機器名 ナノ粒子作製装置(ガス中蒸発法:高周波誘導加熱式)
利用の仕方
使用料No
分類 生産加工機器
担当 機械・材料技術部
仕様 高周波誘導加熱ガス中蒸発法/高周波出力約10KW/基板形状最大4inch/基板加熱温度最高400℃/到達圧力1.33×10-2Pa以下
用途 不活性ガス中で原料金属を加熱・蒸発させることにより、金属ナノ粒子を作製することができます。また、酸素含有ガスを使用すれば、酸化物ナノ粒子の作製も可能です。さらに、生成したナノ粒子を基板上に堆積させ、微細パターンを形成することもできます。

不活性ガス中での融点~1500℃程度までの金属超微粒子膜の作製/微細パターンの形成

手数料No
/試験名
製造社名 真空冶金(株)
規格 特注品(高周波誘導加熱式ガス中蒸発法)
導入年度 平成06年度

  • 「使用料」とはご利用OKのついた機器をご使用いただいたときの料金です。ご利用OKのある機器でも、使用条件によって料金が変わる場合は空欄となっています。そのような機器の使用料は、お問い合わせ下さい。
  • 「手数料」とは当センター職員がお客様のご依頼を受けて試験等を実施する場合の料金です。この他にオーダーメードでもお受けできます。
  • 「試験名」とは当機器を利用して行う試験等の名称で、クリックすると詳細説明がご覧になれます。




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