薄膜屈折率測定 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2015.08.18

薄膜屈折率測定

薄膜屈折率測定

 
項目 内容
試験名 薄膜屈折率測定
手数料No 1030
分類
内容 エリプソメーターによる薄膜の膜厚・屈折率の測定 (単一波長:632.8nm)
補足説明 (例:シリコン熱酸化膜の膜厚分布測定、他)2次元マッピングが可能ですが、測定は単色光になります。
使用機器例 エリプソメーター
試験対象 半導体、光学薄膜
備考 1試料につき
担当 電子技術部

  • 「使用機器例」とは当試験のために使用する機器の名称で、クリックすると詳細説明がご覧になれます。
  • 「手数料」とは当センター職員がお客様のご依頼を受けて試験等を実施する場合の料金です。
  • この他にオーダーメードでもお受けできます。




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