アッシャーによるプラズマ処理 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2015.08.17

アッシャーによるプラズマ処理

アッシャーによるプラズマ処理、アッシング、表面処理

 
項目 内容
試験名 アッシャーによるプラズマ処理
手数料No  1180
分類  機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験/電気・電子関係の試験/半導体関係の試験
内容 表面改質、有機物除去
補足説明 例)レジスト残渣の除去 等
使用機器例 クリーンルーム
アッシャー
試験対象 CF4プラズマ処理、酸素プラズマ処理
備考 1条件1時間につき
担当 電子技術部

  • 「使用機器例」とは当試験のために使用する機器の名称で、クリックすると詳細説明がご覧になれます。
  • 「手数料」とは当センター職員がお客様のご依頼を受けて試験等を実施する場合の料金です。
  • この他にオーダーメードでもお受けできます。




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