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機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験/形状測定・電気計測等/精密測定


試験名内容
三次元座標測定

寸法や形状の測定・幾何公差の判定・3Dモデルデータとの比較

表面粗さ測定(A) 簡単な形状

表面粗さ測定・寸法や形状の測定

表面粗さ測定(B) 複雑な形状

表面粗さ測定・寸法や形状の測定

三次元微細形状測定

触針を用いて三次元微細形状、段差、膜厚、粗さを測定