産技センター職員発明特許等の情報 産技センターID : 167 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2012.10.05

産技センター職員発明特許等の情報 産技センターID : 167

   
出願番号 2004-077403
公開番号 2005-264220
公開年月日 2005年9月29日
出願人 神奈県、株式会社 日本製鋼所
発明者 安井学
発明の名称 スタンパの製造方法
国際特許分類(IPC) C25D1/00,C25D1/20,C25D1/22
概要  一般的な微細電鋳金型の作製では,基板上に形成したレジストパターン上に金属を電析させます。そして、エッチングにより基板とフォトレジストを溶解して、微細電鋳金型を得ます。しかし、基板の溶解には高温に加熱したアルカリ水溶液を使用するため、危険性が高い上、微細電鋳金型を腐食するなどの問題がありました。
 本発明では、基板とレジストパターンの間に一層の犠牲層を設け、この犠牲層を加熱した純水で溶解することにより、簡単に基板からレジストパターンの付いた微細電鋳金型を得ることができます。用途として、微細電鋳金型やマイクロ金属部品などの製造に使用できます。
備考  特許第4164592号




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