産技センター職員の論文情報 登録コード:683 | 神奈川県産業技術センター
ホーム
ページ全体のサイズ
logo
更新日:2013.09.10

産技センター職員の論文情報 登録コード:683

   
発表論文/書籍 Formation of Si2N2O Microcrystalline Precipitates near the Quartz Crucible Wall Coated with Silicon Nitride in Cast-Grown Silicon
著者/共著者 Haruhiko Ono,Yu Motoizumi,Hiroki Kusunoki,Kuniyuki Sato,Tomihisa Tachibana,and Atsushi Ogura
掲載誌・書名 APPLIED PHYSICS EXPRESS
出版社 The Japan Society of Applied Physics
出版年月 2013.8
巻−号  Vol.6 No.8
ページ 081303-1-081303-4
論文情報  
備考  




みなさまのご意見をお聞かせください

  • このページの情報は役に立ちましたか
  •  役に立った    普通   役に立たなかった

  • このページの内容はわかりやすかったですか
  •  分かりやすい   普通   分かりにくい

  • このページの情報は見つけやすかったですか
  •  見つけやすかった 普通   見つけにくかった