産技センター職員の論文情報 登録コード:405 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2012.10.03

産技センター職員の論文情報 登録コード:405

発表論文/書籍 薄膜の作成
著者/共著者 大屋誠志郎,申敬燮,安鎭庸,三橋雅彦,湯浅宏康,唐澤志郎,催勝哲
掲載誌・書名 真空
出版社 日本真空協会
出版年月 1997/10
巻−号 40-8
ページ 675-677
論文情報 薄膜とも格子定数が変化し、低酸素分圧条件下で格子定数が大きくなる傾向が見られた。
備考




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