産技センター職員の論文情報 登録コード:488 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2012.10.03

産技センター職員の論文情報 登録コード:488

発表論文/書籍 Epitaxial Yttria-stabilized Zirconia (YSZ)Film Deposited on Si(100) Substrate by YAG Laser
著者/共著者 Satoru KANEKO ;
Kensuke AKIYAMA ;
Takeshi ITO ;Hiroyasu YUASA
Shinichi YASAKA ;
Masahiko MITSUHASHI ;
Yoshitada SHIMIZU ;
Seishiro OHYA ; Keisuke SAITO ;
Takayuki WATANABE ;
Shoji OKAMOTO ;
Hiroshi ; FUNAKUBO
掲載誌・書名 真空
出版社 日本真空協会
出版年月 2004.7
巻−号 47-7
ページ 581-584
論文情報
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