産技センター職員の論文情報 登録コード:491 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2012.10.03

産技センター職員の論文情報 登録コード:491

発表論文/書籍 真空紫外エキシマランプを用いたペルヒドロポリシラザンによるシリカ薄膜の形成
著者/共著者 長沼康弘 , 田中聡美 , 加藤千尋 , 進藤豊彦
掲載誌・書名 Journal of The Ceramic Society of Japan
出版社 日本セラミックス協会
出版年月 2004.11
巻−号 112(11)
ページ 559-603
論文情報
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