産技センター職員の論文情報 登録コード:546 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2012.10.03

産技センター職員の論文情報 登録コード:546

発表論文/書籍 Effect of template layer on formation of flat-surface β-FeSi2 epitaxial films on (111) Si by metal-organic chemical vapor deposition
著者/共著者 Kensuke AKIYAMA ;
Yasuo HIRABAYASHI ; Satoru KANEKO ;
Takeshi KIMURA ; Shintaro YOKOYAMA ; Hiroshi FUNAKUBO
掲載誌・書名 Journal of Crystal Growth
出版社 Elsevier
出版年月 2006年3月
巻−号 289-1
ページ 37-43
論文情報
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