産技センター職員の論文情報 登録コード:561 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2012.10.03

産技センター職員の論文情報 登録コード:561

発表論文/書籍 RF Magnetron Sputtering Growth of Epitaxial SrRuO3 Films with High Conductivity
著者/共著者 Takafumi KAMO ; Ken NISHIDA ; Kensuke AKIYAMA ; Joe SAKAI ;Takashi KADOTA ; Hiroshi FUNAKUBO
掲載誌・書名 Japanese Journal of Applied Physics
出版社 The Japan Society of Applied Physics
出版年月 2007年
巻−号 461-10B
ページ 6987-6990
論文情報
備考




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