産技センター職員の論文情報 登録コード:641 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2012.10.03

産技センター職員の論文情報 登録コード:641

発表論文/書籍 Epitaxial Indium Tin Oxide Film Deposited on Sapphire Substrate by Solid-Source Electron Cyclotron Resonance Plasma
著者/共著者 Satoru Kaneko ; Hironori Torii ; Masayasu Soga ; Kensuke Akiyama ; Motoaki Iwaya ; Mamoru Yoshimoto ; Takao Amazawa
掲載誌・書名 Japanese Journal of Applied Physics
出版社 The Japan Society of Applied Physics
出版年月 2012年01月
巻−号 51-1
ページ p 01AC02-1〜4
論文情報
備考




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