産技センター職員の論文情報 登録コード:644 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2012.10.03

産技センター職員の論文情報 登録コード:644

発表論文/書籍 Periodic nano trench structure fabricated by high speed scanning CW laser
著者/共著者 Satoru Kaneko ; Takeshi Ito ; Manabu Yasui ; Chihiro Kato ; Satomi Tanaka ; Takeshi Ozawa ; Yasuo Hirabayashi ; Akira Matsuno ; Takashi Nire ; Mamoru Yoshimoto
掲載誌・書名 Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XV11
出版社 SPIE
出版年月 2012年1月
巻−号 8243
ページ p 8243U1-7
論文情報
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