産技センター職員の論文情報 登録コード:712 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2014.10.27

産技センター職員の論文情報 登録コード:712

発表論文/書籍 Expansion of lattice constants of aluminum nitride thin film prepared on sapphire substrate by ECR plasma sputtering method
著者/共著者 Satoru Kaneko, Hironori Torii, Takao Amazawa, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Masahito Kurouchi, Akinori Fukushima, Takashi Tokumasu, Seughwan Lee, Sungkyun Park, Hirofumi Takikawa and Mamoru Yoshimoto
掲載誌・書名 Japanese Journal of Applied Physics
出版社 The Japan Society of Applied Physics
出版年月 2014.10
巻−号 Vol.53 No.11
ページ 11RA11-1~11RA11-4
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