産技センター職員の論文情報 登録コード:715 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2014.12.25

産技センター職員の論文情報 登録コード:715

発表論文/書籍 High Temperature Reproducible Preparation of Mg2Si Films on (001)Al2O3 substrates Using RF Magnetron Sputtering Method
著者/共著者 Atsuo Katagiri, Shota Ogawa, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Kensuke Akiyama and Hiroshi Funakubo
掲載誌・書名 Materials Research Society Symposium Proceedings
出版社 Materials Research Society
出版年月 2014
巻−号 Vol.1642
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