産技センター職員の論文情報 登録コード:733 | 神奈川県産業技術センター
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更新日:2016.03.14

産技センター職員の論文情報 登録コード:733

発表論文/書籍 Preparation of Ca-Si Films on (001) Al2O3 Substrates by an RF Magnetron Sputtering Method and Their Electrical Properties
著者/共著者 Mutsuo Uehara, Kensuke Akiyama, Takao Shimizu, Masaaki Matsushima, Hiroshi Uchida, Yoshisato Kimura, Hiroshi Funakubo
掲載誌・書名 Journal of Electronic Materials
出版社 Springer
出版年月 2016.3
巻−号 Vol.45 No.3
ページ 1-6
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