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我が社のすごい技術
【一押し製品】 EBEP(電子ビーム励起プラズマ）装置
??「CVD・エッチング・表面改質のプロセスに最適」
??低圧力領域においてエネルギー可変電子ビームにより、プロセスガスを高効率に解離、電離を行なうことができ、高密度の活成種を生成することが可能 （圧力：１０のマイナス3乗 〜１Pa 電子密度：〜１０の１２乗/ｃｍ3）
??CCPプラズマ・ICPプラズマでは達成できないプラズマ状態を生成
??様々な材料の精密成膜・エッチング・表面改質に対応
??φ１００ｍｍの酸化物・金属・樹脂等の成膜・表面改質に対応
??ステージ加熱（Max５００°Cワークバイアス印加による高速高精度処理が容易）
【使われている技術】 電子ビーム励起プラズマ源は、（独）理化学研究所の特許の実施権を取得して改良を加え、装置化したものです。
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??従来のプラズマ発成方法は、外部から電力（DC,AC、RF,μ波等）を導入する為、プラズマガスの電離によって生じた電子のみがプラズマ中に存在しています。その為、プラズマーパラメータはガス流量・圧力・および外部電力の種類に依存していました。これに対してEBEPは制御された電子ビームをプラズマ反応空間中に直接打ち込むことにより、プラズマガスを電離させます。これにより、プラズマパラメータを直接的に制御することができます。
企業名 株式会社 片桐エンジニアリング
所在地 横浜市鶴見区尻手３−５−３４
電話番号 ０４５−５７０−６８８６
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