電子材料グループ

業務内容

電子材料チームでは、薄膜作製・評価、微細加工技術、マイクロマシニング技術に関する研究開発、技術支援、及び人材育成を行っています

主な技術支援項目

  • ●薄膜作製:真空蒸着、スパッタリング、CVD等
  • ●微細加工:電子線描画、フォトリソグラフィ、マイクロ電鋳プロセス等
  • ●薄膜評価:膜厚測定、X線回折試験(逆格子マッピング)、レーザー顕微鏡等

主な研究開発事例

めっきで作製した金型を用いたアルミナノインプリント
Ni-Wめっきにより作製した金型を用いて純アルミの表面にナノサイズの孔を形成できました。 カラーフィルタやバイオチップなどへの応用を目指しています。

アルミナノインプリント

レーザー顕微鏡による非接触での表面形状計測

薄膜作製技術と微細加工など

平成29年度にハイブリッドレーザー顕微鏡多目的X線回折装置を新規に導入しております。

【問い合わせ先】電子技術部 電子材料グループ