GRENE事業 先進環境材料・デバイス創製スクール

GRENE事業 先進環境材料・デバイス創製スクール=
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ご案内

マイクロ流体デバイス作製の初歩の初歩

SU-8という特殊なレジストを鋳型として、PDMS流路の作り方を 実習 で学びます。
作製したデバイスで簡単な流体実験も行います。  
① SU-8鋳型の作り方 (マスクパターンはあらかじめ準備されたものを使います。)
② PDMS流路の作り方
③ 簡単な流体実験

上記に関する基礎講義をもとに、ソフトMEMS技術を用いたマイクロ流体デバイス作製実習を行います。

日程

平成28年 2月16日(火)、17日(水)、18日(木) 計3日間

定員

お申し込み受付は
終了いたしました。

受講料

50,000円 (教材費を含む実費・税込み)

会場

早稲田大学 研究開発センター ナノテクノロジーリサーチセンター (新宿区早稲田鶴巻町513)
☆最寄り駅 早稲田 (東京メトロ 東西線)

講師陣

早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構  教授 関口 哲志氏  教授 水野 潤氏 ほか

対象者

このような方にご受講をお薦めいたします
★自社の技術を、微細加工分野に活かしたい。またその可能性を探りたい
★当該分野に関する専門的な知識がない方に特にお薦めしたい内容です。
★実習コースは、ご自身で手を動かしたいという積極的な方のご受講を歓迎します。
★未経験者の方を優先させていただきます。詳しくはお問い合わせください。
★実習は3日間にわたり、一連の作業を行います。部分的な受講は認められません。

カリキュラムと日程

    早稲田大学 ナノテクノロジー研究所  水野 潤、関口 哲志 ほか
2月16日
(火)
10:00~12:00

オリエンテーション           関口 哲志 氏

フォトリソグラフィーの原理      水野 潤 氏

実習の説明               関口 哲志 氏

12:00~13:00

休憩

13:30~17:00

実習① SU-8によるフォトリソグラフィーと鋳型作製
 アスペクト比に優れたMEMS向きのレジストであるSU-8を使って流路鋳型を作製します。

2月17日
(水)
10:00~17:00
途中休憩あり

実習② 流体デバイス作製と流体実験
 前日に作製した流路鋳型にPDMS(シリコーン樹脂)を流し込んで固め、流路の三面を作製します。
もう一面はガラス板で物理的にとめます。流路デバイスに実際に色水を流して層流の観察を行います。
空き時間を利用してSEMでの鋳型の観察などを行います。

2月18日
(木)
10:00~13:00

実習③ データのまとめ、補充実験
 最後に全員で集まりデータを持ち寄って各人が発表を行い、それを基に相互ディスカッションを行います。

★講義と実習の内容は予告なく変更することがあります。

お申込みはこちら

お申し込み受け付けは終了いたしました。
ありがとうございました。

● お申し込み上のご注意 ● ★必ずお読み下さい
①本コースのお申し込みにあたっては、左側にある「かんたんお申し込みフォーム」をクリックし、“受講申込みフォーム”へ必要事項を記入の上、お送り下さい。
②見学および実習時には、クリーンウエアを着用の上、照明な どを含めてやや特殊な環境下での作業等が続きます。また、数種類の薬品および実験機器等を使用いたします。実験室に入室中や薬品類や器具の取り扱いの際は、指導者の指示に必ず従って下さい。
③万一、事故やけが等の発生した場合には、主催者側で応急の処置をいたします。ただし、保険等の扱いについては、所属元の規程に従い、各自でご負担をお願いいたします。
④本コースのご受講にあたっては、所属元の業務としてご参加くださいますようお願いいたします。

企画主催

早稲田大学

共催

ナノテクノロジープラットフォーム

運営

(公財)神奈川科学技術アカデミー

問い合わせ先
教育研修グループ
〒213-0012 川崎市高津区坂戸3-2-1 KSP東棟1F
TEL : 044-819-2033/FAX : 044-819-2097
E-MAIL : ed@newkast.or.jp