2018年度 第17回「ナノファブスクエア in 海老名」開催のご案内(会場:海老名)

掲載日:2018.12.26

NANOBIC募集中

第17回 シリコン異方性エッチング 講習・実習会


慶應義塾大学、早稲田大学、東京工業大学、東京大学からなる4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムでは、
川崎市、KISTECと連携し、産学連携による新しい技術や産業の創出を図るため、新川崎・創造のもりのナノ・マイクロ産学官共同研究施設『NANOBICにおいて、4大学の先端機器の利用開放を行っています。
今回は、連携しているKISTECの設備・装置を使った実習を行います。機器を更に効果的にご利用いただくため、
企業や大学の方を対象とした装置講習・実習会を開催しますのでご参加ください。

 日 時


 〇 2019年1月31日(木)  
 〇 13:30~16:30 ※講習1時間、実習2時間

 場 所


 〇 (地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)海老名本部    
   海老名市下今泉705-1(小田急線・相鉄線・JR海老名駅から徒歩15分)    >>Mapはこちら

 講 師


 〇 平林 康男  ( 地方独立行政法人 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部)

 実習内容


 〇 シリコン熱酸化膜をマスクとしてシリコンの結晶異方性エッチングを行う実習を行います。

 実習機器


 〇 ドラフト†、超純水製造装置   
  †ウェットステーションとして、間仕切りをした部屋にて酸・アルカリ及び有機溶剤等の薬液処理ができます。

  装置仕様、微細加工・MEMSの開発支援例はHP (https://www.kanagawa-iri.jp/bgnrs_gid/abtus/e2d/mems/)をご覧ください。

 主 催


 〇 4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム  
 〇 (地独) 神奈川県立産業技術総合研究所  
 〇 川崎市

 共 催


 〇 次世代マイクロ化学チップコンソーシアム

 定 員


 〇 5名程度(先着)

 参加費


 〇 1万円(実費)


 申込書


 〇 参加申込書  
  *4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム ナノファブスクエア in 海老名 講習・実習会 (参加申込書)を
   ダウンロードしていただき必要事項をご記入後、下記申込先のメールアドレスへお送りください。

 申込先

(地独)神奈川県立産業技術総合研究所 人材育成部 教育研修課 E-mail  sangyoujinzai@kanagawa-iri.jp

※詳細および問合せはこちらのチラシをご覧ください。

※「ナノファブスクウェア」の年間スケジュールはこちら