2019年度 第13回「ナノファブスクエア in 海老名」開催のご案内(会場:海老名)

 

13回 シリコン異方性エッチング 講習・実習会

慶應義塾大学、早稲田大学、東京工業大学、東京大学からなる4大学ナノ・マイクロファブリケーション
コンソーシアムでは、 川崎市、KISTECと連携し、産学連携による新しい技術や産業の創出を図るため、
新川崎・創造のもりのナノ・マイクロ産学官共同研究施設『NANOBICにおいて、4大学の先端機器の
利用開放を行っています。 今回は、連携しているKISTECの設備・装置を使った実習を行います。
機器を更に効果的にご利用いただくため、企業や大学の方を対象とした装置講習・実習会を開催しますので
ご参加ください。

 KISTEC海老名本部においては、新川崎のNANOBICと連携し、「首都圏地下鉄路線網シリコンマイクロ流路」
をモデルチップとし、4回の講習・実習会を開催します。

13回は、界面活性剤添加シリコン異方性ウエットエッチングによるマイクロ流路を形成します。

16回は、陽極接合でガラスとシリコンマイクロ流路の接合まで、シリコンMEMSチップ実装に配慮し
講習・実習を行います。

日時

 2019年10月10日(木)  13:30~16:30   
 ※講習1時間、実習2時間

場所

(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)海老名本部    
海老名市下今泉705-1(小田急線・相鉄線・JR海老名駅から徒歩15分)    
>>Mapはこちら

講師

 平林 康男 ( 地方独立行政法人 神奈川県立産業技術総合研究所 電子技術部)

実習内容

 シリコン熱酸化膜をマスクとしてシリコンの結晶異方性エッチングで
 マイクロ流路作成の実習を行います。

実習機器

ドラフト、超純水製造装置、異方性エッチング槽   
*ウェットステーションとして、間仕切りをした部屋にて酸・アルカリ及び有機溶剤等の薬液処理ができます。

  装置仕様、微細加工・MEMSの開発支援例は、装置仕様、微細加工・MEMSの開発支援例をご覧ください。

主催

4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム

(地独) 神奈川県立産業技術総合研究所

川崎市

共催

次世代マイクロ化学チップコンソーシアム

定員

5名程度(先着)

参加費

1万円(実費)

申込について

*4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム ナノファブスクエア in 海老名 講習・実習会
参加申込書をダウンロードしていただき必要事項をご記入後、下記申込先のメールアドレスへお送りください。

 参加申込書

申込先

(地独)神奈川県立産業技術総合研究所 人材育成部 教育研修課
E-mail : sangyoujinzai@kanagawa-iri.jp

※詳細および問合せはこちらのチラシをご覧ください。

※「ナノファブスクウェア」の年間スケジュールはこちら