薄膜屈折率測定

薄膜屈折率測定

項目 内容
試験名 薄膜屈折率測定
手数料No E1030
分類
内容 エリプソメーターによる薄膜の膜厚・屈折率の測定 (単一波長:632.8nm)
補足説明 (例:シリコン熱酸化膜の膜厚分布測定、他)2次元マッピングが可能ですが、測定は単色光になります。
使用機器例 エリプソメーター
試験対象 半導体、光学薄膜
備考 1試料につき
担当 電子技術部

  • 「使用機器例」とは当試験のために使用する機器の名称で、クリックすると詳細説明がご覧になれます。
  • 「手数料」とは当研究所職員がお客様のご依頼を受けて試験等を実施する場合の料金です。
  • この他にオーダーメードでもお受けできます。