超深度形状測定顕微鏡による観察及び形状測定

超深度形状測定顕微鏡による観察及び形状測定(カラーレーザー顕微鏡による観察、形状測定)、表面観察、表面形態

項目 内容
試験名 超深度形状測定顕微鏡による観察及び形状測定
手数料No E1150E1151
分類 機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験/電気・電子関係の試験/半導体関係の試験
内容 微小部品の三次元形状観察、測定
補足説明 例:プリント基板の銅配線幅・厚さ測定、他 非接触(光学式)で三次元形状を測定。
使用機器例 超深度形状測定(カラーレーザー)顕微鏡
試験対象 機械部品、電子部品、電子材料、半導体 等
備考

E1150:1測定点1解析につき、E1151:解析増すごとに