ECRプラズマエッチング

ECRプラズマエッチング、高密度、プラズマ、エッチング

項目 内容
試験名 ECRプラズマエッチング
手数料No E1190
分類 機械装置、電気・電子部品等の性能評価試験/電気・電子関係の試験/半導体関係の試験
内容 プラズマを用いるドライエッチング法の一つであり、この場合は、ECR (電子サイクロトロン共鳴) によりプラズマを発生させます。
補足説明 例)GaAsのエッチング等
使用機器例 イオンシャワー
試験対象 電子材料
備考 標準1試料当たり
担当 電子技術部

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