SEM観察・EDS分析
高分解能分析走査電子顕微鏡(FE-SEM/EDS)
概要
最新の高性能電子光学系により、金属や半導体、セラミクス、有機物、磁性材料など様々な試料に対し、低倍率から高分解能観察まで行うことができる電子顕微鏡です。
検出器を多数付属していることから組成像、凹凸像など様々な画像を取得することができます。元素分析装置も搭載しており、試料の元素同定や分布など有用な情報も得ることができます。
装置
装置 | 機器名 |
---|---|
FE-SEM | 日本電子(株) JSM-7800F Prime 分解能:0.7nm(15kV)、0.7nm(1kV)、
3.0nm(5kV、WD10mm、5nA) 検出器:上方検出器(UED)、上方二次 電子検出器(USD)、下方検出器 (LED)、反射電子検出器(BED) 試料交換サイズ:100mm径(最大) |
EDS | サーモフィッシャーサイエンティフィック NORAN System 7 |
その他 | STEM観察、低真空観察、GB観察 |
分析モード | 点分析、線分析、面分析 |
分析対象元素 | B~U |
立会い観察分析も可能です。
♣ 撮影箇所や分析箇所を指定でき、欲しい情報が的確
に得られます。
♣ データを受取るだけでは得られない多くの情報を
得る事ができます。
♣ 画像データはその場でお渡しできます。
応用例とその試料調製法
・ めっきの断面観察&分析 → 断面作製用イオンミリング装置
・ 高分子材料の観察 → ウルトラミクロトーム
・ 金属組織観察 → 断面作製用イオンミリング装置
・ ガラス、樹脂の破面観察 → その他
測定事例
【磁気フィルム】
組成像
EDS面分析
【粘着テープ】
低真空無蒸着観察
【金属担持酸化チタン】
低加速電圧観察
解析例
ミクロトームを活用したHIPS(耐衝撃性ポリスチレン)のSEM観察
川崎技術支援部
TEL:044-819-2105 FAX:044-819-2108
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