目的から装置を探す

材料の成分

観察 分析 加工 内容 装置
  材料の局所分析 FE-SEM/EDS
    材料の定性分析 XRF
    RoHS指令などの環境規制物質のスクリーニング分析 XRF
    結晶性無機物質の定性分析 XRD
  材料の最表面の元素分析 AES・SAM
    材料の最表面の状態分析 µ-XPS・µ-ESCA
    樹脂・ゴムの成分分析 FT-IR
    油・グリスの成分分析 FT-IR

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形状観察

観察 分析
加工
内容 装置
    低倍率(0~200倍)からの試料観察 デジタルマイクロスコープ
    光学顕微鏡による表面、断面観察 マクロ撮影イメージングシステム
金属顕微鏡
  高倍率観察(30~数100,000倍) FE-SEM/EDS
  超高分解能観察(数1,000~数1,000,000倍) FE-TEM/EDS
      ミクロンオーダー表面の凹凸の測定 表面形状粗さ測定機
    ナノオーダー表面の凹凸、形状観察 SPM
  数µm~数10µmの範囲での断面観察 FIB
数10nm~数10µmの範囲での断面観察 FIB/SEM/EDS

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金属組織観察・分析

観察 分析 加工 内容 装置
   
金属組織観察
金属顕微鏡

破断面

観察 分析 加工 内容 装置
    外観観察による調査 マクロ撮影イメージングシステム
金属顕微鏡
FE-SEM

錆び・腐食

観察 分析 加工 内容 装置
    金属組織観察による材料の調査 金属顕微鏡
  錆・腐食部の元素分析 FE-SEM/EDS
AES・SAM
    錆・腐食物の状態分析 µ-XPS・µ-ESCA
錆・腐食部の断面観察・元素分析 FIB/SEM/EDS

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接点不良、導通不良

観察 分析 加工 内容 装置
  めっきの最表面元素分析 AES・SAM
    めっきの最表面元素・状態分析 µ-XPS・µ-ESCA
  接点付着物分析 FE-SEM/EDS
AES・SAM
µ-XPS・µ-ESCA
    有機系付着物分析 FT-IR

内部欠陥の非破壊検査

観察 分析 加工 内容 装置
    内部の亀裂、空孔、剥離などの欠陥検査 µフォーカスX線検査装置
超音波顕微鏡

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異物・付着物

観察 分析 加工 内容 装置
  ナノオーダーの異物分析・局所分析 FE-TEM/EDS
    異物・付着物の成分分析 FT-IR
µ-XPS・µ-ESCA
  異物・付着物の観察・元素分析 FE-SEM/EDS
AES・SAM
    異物の元素分析 XRF
異物、付着物の断面加工・観察・分析 FIB/SEM/EDS

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しみ・変色

観察 分析 加工 内容 装置
  しみ・変色部の観察・元素分析 FE-SEM/EDS
AES・SAM
    しみ・変色の元素分析・状態分析 µ-XPS・µ-ESCA

メッキ・薄膜・多層膜の膜厚・層構造

観察 分析 加工 内容 装置
    層構造・膜厚の観察 金属顕微鏡
めっき成分、不良部の断面加工・観察・分析 FIB/SEM/EDS
  膜厚・層構造の観察・測定 FE-SEM/EDS
FIB/SEM/EDS
  サブミクロンオーダーの膜厚・層構造の観察・測定 FIB/SEM/EDS
  ナノオーダーの膜厚・層構造の観察・測定・分析 FE-TEM/EDS

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薄膜の分析

観察 分析 加工 内容 装置
    薄膜・コーティング層の状態分析 FT-IR
  表面元素分析・深さ方向分析 AES・SAM
    表面元素・状態分析 µ-XPS・µ-ESCA

薄膜・多層膜の深さ方向分析

観察 分析 加工 内容 装置
    薄膜、多層膜の分析 AES・SAM
µ-XPS・µ-ESCA

結晶性・結晶欠陥

観察 分析 加工 内容 装置
    結晶性薄膜の定性分析、配向性の確認 XRD
  結晶・面方位の電子線回折測定
転位の超高分解能観察
FE-TEM/EDS

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硬度測定

観察 分析 加工 内容 装置
      ナノオーダーの薄膜硬度測定 薄膜硬度計
< ナノインデンター>
      硬度測定 各種硬度計

精密加工

観察 分析 加工 内容 装置
  1~150μm角の材料表面マーキング レーザーマーカ
TEM/SEM/AES用の試料加工
数µm~数10µm程度の微細加工
FIB/SEM/EDS
FIB
    TEM/SEM用の試料の最表面クリーニング 精密イオン研磨装置