【募集終了】第8回 「ナノファブスクエア」開催のご案内(会場:NANOBIC)

NANOBIC 募集終了
定員に達したため、募集を締め切りました

第8回 ガラスエッチング 講習・実習会

新川崎・創造のもりのNANOBICオープンラボ ナノ・マイクロ技術講習・実習会

日   時

2017年10月19日(木)  13:30~16:30

場   所

かわさき新産業創造センター(KBIC)新館 NANOBIC

(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩10分)

講   師

塚原 剛彦
(東京工業大学科学技術創成研究院先導原子力研究所 准教授)

実習内容

プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習と、実際に装置を使った実習会を行います。

実習機器

高密度プラズマドライエッチング装置 NLD-570†
†アルバック株式会社製。石英・ガラス・金属酸化物などをプラズマを使って高速に深掘り(100 mm以上)可能。ガラス基板上への流路作製、ポリジメチルシロキサン(PDMS)へ転写する鋳型の作製などが可能です。機器詳細仕様は「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧をご覧ください。

主   催

4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市

共   催

次世代マイクロ化学チップコンソーシアム

定   員

5名程度(先着)

参 加 費

1万円(実費)

申込書

機器利用実習申込書(参加申込)
*講習実習会申込書(参加申込)をダウンロードして戴き必要事項をご記入後、下記
申込先のメールアドレスへお送りください。

申込先

技術担当 唐澤 志郎
Tel:080-6560-3061/E-mail : karasawa*newkast.or.jp
(地独) 神奈川県立産業技術総合研究所

 ※詳細およびお問合せはこちらのチラシをご覧ください。

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