【募集終了】第6回 「ナノファブスクエア」開催のご案内(会場:NANOBIC)

NANOBIC 募集終了
募集は終了しました。

第6回 シリコン深堀りドライエッチング 講習・実習会

新川崎・創造のもりのNANOBICオープンラボ ナノ・マイクロ技術講習・実習会

日   時

2017年9月15日(金)

13:30~16:30(講習1時間、実習2時間)

場   所

かわさき新産業創造センター(KBIC)新館 NANOBIC

(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり JR新川崎駅から徒歩10分)

講   師

関口 哲志
(早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構 研究院教授)

実習内容

シリコンの深掘り加工の原理や、応用事例について講習を行います。
さらにNANOBICの装置を使って実習を行っていただくことで、その技術を習得できます。

実習機器

シリコン深掘りDRIE装置(住友精密工業株式会社製 MUC-21)*
*機器詳細仕様は「NANOBICオープンラボ」ホームページ http://open-labo.skr.jp/ の機器一覧をご覧ください。

主   催

4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、
(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市

共   催

(一社)日本機械学会、次世代マイクロ化学チップコンソーシアム

定   員

5名程度(先着)

参 加 費

1万円(実費)

申込書

機器利用実習申込書(参加申込)
*機器利用実習申込書(参加申込)をダウンロードして戴き必要事項をご記入後、下記
申込先のメールアドレスへお送りください。

申込先

技術担当 唐澤 志郎
Tel:080-6560-3061/E-mail : karasawa*newkast.or.jp
(地独) 神奈川県立産業技術総合研究所

 ※詳細およびお問合せはこちらのチラシをご覧ください。

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